클린 룸은 반도체 생산을 대표하는 영역입니다. 각종 로봇이 여기에 모여있습니다. 트랙 가이드, 고정식, 이동식 로봇이 생산, 적재, 하역에 투입됩니다. 특히 이동식 로봇은 트랙 가이드 시스템보다 유연하고 자유롭게 공간을 이동할 수 있으므로 그 역할이 커지고 있습니다. 웨이퍼(마이크로칩이 올라가는 실리콘 디스크) 운송용 지능형 로봇 솔루션을 개발하는 Fabmatics의 전문가들도 이동식 로봇에 주목하고 있습니다. 자유롭게 움직이는 HERO®FAB 그리퍼 암의 안전과 포지셔닝에서 SICK의 안전 레이저 스캐너와 광전 센서는 결정적 역할을 합니다. 튀지 않는 곳에서 HERO®FAB 안전을 지키는 "숨은 영웅"이라 할 수 있습니다.
드레스덴에 있는 Fabmatics GmbH는 반도체 산업 고객을 위한 지능형 자동화 및 로봇 공학 솔루션을 개발합니다. 이 기업은 클린 룸 조건에 맞는 복잡한 자동화, 로봇 공학, 핸들링 시스템 관련 전문성을 갖추고 있습니다. 책임이 많은 임무: "한 마디로 우리는 다양한 로봇을 이용하여 반도체 제조 공정에서 아주 중요한 부품을 운송합니다. 로봇마다 집 한 채를 어깨에 짊어지는 셈입니다"라고 Fabmatics의 제품 개발 & 시스템 통합 그룹 관리자인 Martin Däumler는 말합니다. 따라서 신뢰할 수 있는 솔루션을 찾는 것이 중요합니다. 안전한 이동성 확보의 전제 조건을 해결하기 위해 SICK와 같은 파트너들의 도움을 받고 있습니다. Fabmatics는 하드웨어뿐 아니라 소프트웨어도 계획 및 개발, 생산 및 설치, 사후관리를 단일 파트너에게 맡깁니다. S300 Expert 안전 레이저 스캐너 와 향후 출시될 microScan3가 실내 수평 및 수직 안전을 담당합니다. W2S-2 제품군의 초소형 광전 센서는 작고 스마트하며 가벼운 그리퍼 암으로 로딩 및 언로딩 관련 지능형 센서 솔루션을 구성합니다.
HERO®FAB는 깨끗하고 안전하며 검증된 로봇 시스템과 혁신적인 자동 가이드 시스템을 결합함으로써 클린 룸 내 이동성을 제공합니다. HERO®FAB는 생산 시스템을 전자동 로드/언로드하고, 개별 프로세스 간 운송 운송을 신속화하며, 클린 룸 내 중간 보관이 가능하게끔 개발되었습니다. 컨테이너는 4개까지 이동 가능합니다. 각 컨테이너는 클린룸에서 일반적으로 200mm 또는 300mm 웨이퍼를 25개까지 운반할 수 있으며, 60리터 대형 물통이 있는 HERO®FAB 스페셜 버전도 사용 가능합니다. 이미 검증된 HERO®Rail 레일 솔루션 덕분에 HERO®FAB가 레일 또는 케이블 연결 없이 클린룸에서 자유롭게 주행할 수 있습니다. SICK 안전 레이저 스캐너는 물체 안전뿐 아니라 작업 구간 내 사람 대 기계의 상호 작용이라는 가장 까다로운 안전 요구 사항도 해결해줍니다. 상호 작용 수준과 현지 요구 사항을 반영한 다양한 수준의 개인 안전이 보장됩니다.
W2S-2 제품군 초소형 광전 센서는 로봇 팔로 하여금 귀중한 물체를 안전하고 안정적으로 잡을 수 있게 해줍니다. 주목할 부분은 크기입니다. 이동식 로봇은 설치 공간이 협소하고, 로봇에서 사용 가능한 공간의 약 80퍼센트는 제어기가 차지합니다. 이것이 W2S-2를 선택하는 또 다른 이유입니다. 울트라 플랫 G2 플랫 센서는 초소형 시스템 및 매우 협소한 설치 공간에 통합할 수 있고 강력한 배경 억제 기능이 뛰어난 감지 능력을 발휘합니다. 8mm 거리에서 아주 작은 물체도 쉽게 감지할 수 있고 짙은 검정, 반사성, 투명, 광택성 물체도 안정적으로 감지해냅니다.
이동식 로봇에 통합할 안전 제어기는 설치가 간단할수록 좋습니다. 검증된 EFI 인터페이스를 계속 발전시킨 결과물인 Safe EFI-pro System을 이용하면 이동식 로봇이 스마트하게 안전을 확보할 수 있습니다. 산업용 Ethernet 기반 EFI-pro 네트워크 기술은 모든 통신 수준의 안전 및 비안전 데이터를 교환, 전송합니다. 그 중심에는 안전하고 빠른 네트워킹을 보장하고 EtherNet/IPTM CIP SafetyTM를 통해 Flexi Soft 안전 제어기에 로봇 제어기를 직접 통합하는 EFI-pro 게이트웨이가 있습니다. Safe EFI-pro System은 디지털 전환의 핵심 단계라 할 수 있습니다.
Martin Däumler와 SICK 전자 & 태양광 KAM(Key Account Manage, 중요 고객 관리자)인 Meik Kettinger는 향후 협력의 핵심 요소로 SICK 솔루션의 기술적 성숙도를 꼽았습니다. Martin Däumler는 R&D란 역동적 프로세스이며 "SICK는 특히 기술 요구 사항, 명세서 작성, 빠른 답변, 아이디어 교환 면에서 이상적인 파트너”라고 이야기합니다. "우리는 매일 주어지는 과제를 통해 고객과 함께 성장한다"고 Meik Kettinger가 덧붙입니다.
성공적인 협력의 바탕에는 심도 깊은 지식과 높은 수준의 기술 전문성, 즉 현실성에 기반을 둔 이동성이 있습니다. 두 파트너는 이를 바탕으로 성공의 길을 개척해갈 것입니다. 반도체 산업 이외 분야에서도 이동식 로봇의 지속적 발전이 진행 중입니다. 제약산업 또는 의료 기술에도 내일의 과제를 함께 확인하고 공통의 노하우를 적극 활용하리라 기대됩니다.
SUitee Cobotics의 이동식 로봇이 불러온 슈퍼마켓 업무 혁명
프로세스 체인을 최적화하는 초소형 이동식 로봇
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