Renrum i produktionen af halvledere er helt klart deres domæne: Her er robotter i alle mulige udførelser en del af dagligdagen. Sporførte, stationære eller mobile i produktionen og ved læsning og losning. Samtidigt bliver mobile robotter hele tiden vigtigere. I modsætning til sporførte systemer er de mere fleksible og kan bevæge sig frit omkring i rummet. Til transporten af wafere – de siliciumskiver, som mikrochipsene dannes på – er for specialisterne hos Fabmatics allerede nu en fast bestanddel af udviklingen af intelligente robotløsninger. Især ved frit kørende HERO®FAB spiller sikkerhedslaserscannere og fotoceller fra SICK en afgørende rolle i forbindelse med sikkerhed og positionering af gribearmene. Det ses ikke altid ved første øjekast, men skjuler sig derimod som ”sikkerhedshelte” i HERO®FAB.
Aldrig halvt arbejde – Fabmatics og SICK gør mobile robotter sikre
Specialister i produktionen af halvledere
Fabmatics GmbH i Dresden udvikler intelligente automatiserings- og robotløsninger til kunder i halvlederindustrien. På det område har virksomheden en enestående evne til at tilbyde komplekse automatiserings-, robotteknologi- og håndteringssystemer til brug under renrumsforhold. En opgave med et stort ansvar: ”Det er jo en meget kostbar vare, vi transporterer med vore forskellige robotter i produktionen af halvledere. Her bærer en enkelt af vore robotter dagligt værdier på størrelse med et enfamilieshus ’på sine skuldre’,” siger Martin Däumler, Group Manager Product Development & System Integration hos Fabmatics. Desto vigtigere er det at finde løsninger, man kan stole på. Forudsætningerne for sikker mobilitet skabes bl.a. ved hjælp af partnere som SICK. Samtidigt tilbydes både hard- og software samt alt fra planlægning og udvikling over produktion og installation til after sales service fra én og samme leverandør. Sikkerhedslaserscannerne S300 Expert og fremover microScan3 påtager sig opgaverne i forbindelse med horisontal og vertikal sikring i rummet. Miniaturefotocellerne i W2S-2-familien danner en intelligent sensorløsning ved læsning og losning med gribearm – lille, klog og let.
Mobil i renrum
Med HERO®FAB lukkes mobiliteten ind i renrummet. Den kombinerer et etableret, rent og sikkert robotsystem med en innovativ førerløs transportplatform. Den blev udviklet for at kunne læsse og losse produktionsanlæg fuldautomatisk og sikre hurtig transport mellem de enkelte procestrin og mellemlagre i renrummet. Helt konkret kan den flytte op til fire beholdere samtidigt – i renrummet drejer det sig for det meste om beholdere, der hver især transporterer 25 stk. 200 mm eller 300 mm wafere. Men der anvendes også specielle udførelser af HERO®FAB med store 60 liter vandreservoirer. På basis af den oprindeligt gennemprøvede skinneløsning HERO®Rail giver videreudviklingen af HERO®FAB mulighed for at køre ind i renrummet uden skinne- eller kabelforbindelse. Takket være sikkerhedslaserscannerne fra SICK lever den mobile robot – udover objektsikkerhed – også op til de mest krævende sikkerhedsbehov i forbindelse med interaktionen mellem menneske og maskine i samme arbejdslokale. Personsikkerheden sikres å mange forskellige niveauer afhængigt af graden af interaktionen og de lokale behov.
Perfekt til steder, hvor der kun er lidt plads til indbygningen
Miniaturefotocellerne i W2S-2-familien styrer robotarmen sikkert og pålideligt, mens den griber den kostbare vare. Her er det særlige clou også dens størrelse. Lige netop i forbindelse med mobil robotteknologi er indbygningsplads en mangelvare. Styringen alene optager rundt regnet 80% af den eksisterende plads i robotter. Det var også årsagen til, at man valgte W2S-2. De ultraflade G2-Flat-sensorer kan også indbygges i miniatureanlæg og på steder, hvor der er meget begrænset plads til indbygningen. Desuden imponerer de med fremragende detektering takket være effektiv baggrundsafblænding. Selv meget små objekter detekteres problemfrit allerede på 8 mm afstand; også dybsorte, spejlende, gennemsigtige og skinnende objekter detekteres pålideligt.
Gennemprøvede interfaces er fremtiden
For at kunne indbygge sikkerhedsstyringen i den mobile robot er nem installation en yderligere fordel. Safe EFI-pro System er en konsekvent videreudvikling af det succesrige EFI-interface og muliggør intelligent sikring af den mobile robot. Netværksteknologien EFI-pro, som er baseret på Industrial-Ethernet, udveksler og transmitterer sikre og ikke sikre data på tværs af alle kommunikationsniveauer. EFI-pro-gatewayen er den centrale komponent; den sikrer hurtig og sikker netværksopbygning og direkte tilslutning af robotstyringer til sikkerhedsstyringen Flexi Soft via EtherNet/IPTM CIP SafetyTM. Safe EFI-pro System er dermed et afgørende skridt i retning af digital transformation.
Sammen ind i fremtiden
For Martin Däumler og Meik Kettinger, Key Account Manager Electronic & Solar hos SICK, er SICK-løsningernes tekniske modenhed et godt argument for det fremtidige samarbejde: ”Vores udvikling er en dynamisk proces. Netop med henblik på de tekniske krav, udarbejdelsen af specifikationer og den hurtige reaktionstid ved forespørgsler og udveksling af ideer er SICK en perfekt partner,” udtaler Däumler, og Kettinger tilføjer: ”Vi vokser med opgaverne sammen med vore kunder – det er et incitament for os hver dag!”
Samtidigt er grundlaget for det vellykkede samarbejde den tilbundsgående viden og den store tekniske ekspertise – en sikker rodfæstet mobilitet. Således følges partnerne også fremover ad vejen til succes. Den løbende videreudvikling af den mobile robotteknologi er ikke kun begrænset til halvlederindustrien; den standser heller ikke ved andre brancher. Således betragter man gerne morgendagens opgaver i fællesskab og er klar til også at overføre den fælles viden til den farmaceutiske industri og medicinalteknikken.
Yderligere bidrag
Mobile robotter fra SUitee Cobotics revolutionerer arbejdet i et supermarked
Ultrakompakte mobile robotter optimerer proceskæden
Lys forude – desinfektion ved hjælp af UV-lys og nanoScan3
Cobotterne Claus og Clara: Samarbejdende robotteknologi med SICK Safety
Mobile Robotter:
Move into new dimensions
Robotteknologien er på vej – uanset om det er i produktionen, i logistikken eller på serviceområdet. Sensorløsninger til alle varianter af mobile robotter