Aldrig halvt arbejde – Fabmatics og SICK gør mobile robotter sikre

21-12-2021

Renrum i produktionen af halvledere er helt klart deres domæne: Her er robotter i alle mulige udførelser en del af dagligdagen. Sporførte, stationære eller mobile i produktionen og ved læsning og losning. Samtidigt bliver mobile robotter hele tiden vigtigere. I modsætning til sporførte systemer er de mere fleksible og kan bevæge sig frit omkring i rummet. Til transporten af wafere – de siliciumskiver, som mikrochipsene dannes på – er for specialisterne hos Fabmatics allerede nu en fast bestanddel af udviklingen af intelligente robotløsninger. Især ved frit kørende HERO®FAB spiller sikkerhedslaserscannere og fotoceller fra SICK en afgørende rolle i forbindelse med sikkerhed og positionering af gribearmene. Det ses ikke altid ved første øjekast, men skjuler sig derimod som ”sikkerhedshelte” i HERO®FAB.

The hidden “Heroes of safety” in the HERO®FAB: safety laser scanners and photoelectric sensors from SICK.
Foto: Fabmatics GmbH / Fotograf: Sven Claus
The hidden “Heroes of safety” in the HERO®FAB: safety laser scanners and photoelectric sensors from SICK.
Foto: Fabmatics GmbH / Fotograf: Sven Claus

 

Specialister i produktionen af halvledere

Fabmatics GmbH i Dresden udvikler intelligente automatiserings- og robotløsninger til kunder i halvlederindustrien. På det område har virksomheden en enestående evne til at tilbyde komplekse automatiserings-, robotteknologi- og håndteringssystemer til brug under renrumsforhold. En opgave med et stort ansvar: ”Det er jo en meget kostbar vare, vi transporterer med vore forskellige robotter i produktionen af halvledere. Her bærer en enkelt af vore robotter dagligt værdier på størrelse med et enfamilieshus ’på sine skuldre’,” siger Martin Däumler, Group Manager Product Development & System Integration hos Fabmatics. Desto vigtigere er det at finde løsninger, man kan stole på. Forudsætningerne for sikker mobilitet skabes bl.a. ved hjælp af partnere som SICK. Samtidigt tilbydes både hard- og software samt alt fra planlægning og udvikling over produktion og installation til after sales service fra én og samme leverandør. Sikkerhedslaserscannerne S300 Expert og fremover microScan3 påtager sig opgaverne i forbindelse med horisontal og vertikal sikring i rummet. Miniaturefotocellerne i W2S-2-familien danner en intelligent sensorløsning ved læsning og losning med gribearm – lille, klog og let.

Fabmatics GmbH in Dresden develops intelligent automation and robotics solutions for customers in the semiconductor industry.
Foto: Infineon Dresden
Fabmatics GmbH in Dresden develops intelligent automation and robotics solutions for customers in the semiconductor industry.
Foto: Infineon Dresden

 

Mobil i renrum

Med HERO®FAB lukkes mobiliteten ind i renrummet. Den kombinerer et etableret, rent og sikkert robotsystem med en innovativ førerløs transportplatform. Den blev udviklet for at kunne læsse og losse produktionsanlæg fuldautomatisk og sikre hurtig transport mellem de enkelte procestrin og mellemlagre i renrummet. Helt konkret kan den flytte op til fire beholdere samtidigt – i renrummet drejer det sig for det meste om beholdere, der hver især transporterer 25 stk. 200 mm eller 300 mm wafere. Men der anvendes også specielle udførelser af HERO®FAB med store 60 liter vandreservoirer. På basis af den oprindeligt gennemprøvede skinneløsning HERO®Rail giver videreudviklingen af HERO®FAB mulighed for at køre ind i renrummet uden skinne- eller kabelforbindelse. Takket være sikkerhedslaserscannerne fra SICK lever den mobile robot – udover objektsikkerhed – også op til de mest krævende sikkerhedsbehov i forbindelse med interaktionen mellem menneske og maskine i samme arbejdslokale. Personsikkerheden sikres å mange forskellige niveauer afhængigt af graden af interaktionen og de lokale behov.

The miniature photoelectric sensors in the W2S-2 family guide the robot arm safely and reliably when gripping the valuable items.
Foto: Fabmatics GmbH / Fotograf: Sven Claus
The miniature photoelectric sensors in the W2S-2 family guide the robot arm safely and reliably when gripping the valuable items.
Foto: Fabmatics GmbH / Fotograf: Sven Claus

 

Perfekt til steder, hvor der kun er lidt plads til indbygningen

Miniaturefotocellerne i W2S-2-familien styrer robotarmen sikkert og pålideligt, mens den griber den kostbare vare. Her er det særlige clou også dens størrelse. Lige netop i forbindelse med mobil robotteknologi er indbygningsplads en mangelvare. Styringen alene optager rundt regnet 80% af den eksisterende plads i robotter. Det var også årsagen til, at man valgte W2S-2. De ultraflade G2-Flat-sensorer kan også indbygges i miniatureanlæg og på steder, hvor der er meget begrænset plads til indbygningen. Desuden imponerer de med fremragende detektering takket være effektiv baggrundsafblænding. Selv meget små objekter detekteres problemfrit allerede på 8 mm afstand; også dybsorte, spejlende, gennemsigtige og skinnende objekter detekteres pålideligt.

Thanks to the ultraflat G2 flat sensors even very small objects can be detected without difficulty.
Foto: Fabmatics GmbH / Fotograf: Sven Claus
Thanks to the ultraflat G2 flat sensors even very small objects can be detected without difficulty.
Foto: Fabmatics GmbH / Fotograf: Sven Claus
Sikkerhedslaserscanner
Den robuste sikkerhedslaserscanner – super intelligent
microScan3

 

Gennemprøvede interfaces er fremtiden

For at kunne indbygge sikkerhedsstyringen i den mobile robot er nem installation en yderligere fordel. Safe EFI-pro System er en konsekvent videreudvikling af det succesrige EFI-interface og muliggør intelligent sikring af den mobile robot. Netværksteknologien EFI-pro, som er baseret på Industrial-Ethernet, udveksler og transmitterer sikre og ikke sikre data på tværs af alle kommunikationsniveauer. EFI-pro-gatewayen er den centrale komponent; den sikrer hurtig og sikker netværksopbygning og direkte tilslutning af robotstyringer til sikkerhedsstyringen Flexi Soft via EtherNet/IPTM CIP SafetyTM. Safe EFI-pro System er dermed et afgørende skridt i retning af digital transformation.

The basis for a successful cooperation is in-depth knowledge and a high level of technical expertise.
Foto: Fabmatics GmbH / Fotograf: Sven Claus
The basis for a successful cooperation is in-depth knowledge and a high level of technical expertise.
Foto: Fabmatics GmbH / Fotograf: Sven Claus
Sikkerhedsstyringer
Den software-programmerbare sikkerhedsstyring
Flexi Soft
Sikkerhedssystemer
Sikker netværksdannelse i det produktive samspil
Safe EFI-pro System

 

Sammen ind i fremtiden

For Martin Däumler og Meik Kettinger, Key Account Manager Electronic & Solar hos SICK, er SICK-løsningernes tekniske modenhed et godt argument for det fremtidige samarbejde: ”Vores udvikling er en dynamisk proces. Netop med henblik på de tekniske krav, udarbejdelsen af specifikationer og den hurtige reaktionstid ved forespørgsler og udveksling af ideer er SICK en perfekt partner,” udtaler Däumler, og Kettinger tilføjer: ”Vi vokser med opgaverne sammen med vore kunder – det er et incitament for os hver dag!”

Samtidigt er grundlaget for det vellykkede samarbejde den tilbundsgående viden og den store tekniske ekspertise – en sikker rodfæstet mobilitet. Således følges partnerne også fremover ad vejen til succes. Den løbende videreudvikling af den mobile robotteknologi er ikke kun begrænset til halvlederindustrien; den standser heller ikke ved andre brancher. Således betragter man gerne morgendagens opgaver i fællesskab og er klar til også at overføre den fælles viden til den farmaceutiske industri og medicinalteknikken.

 

Yderligere bidrag

Mobile robotter fra SUitee Cobotics revolutionerer arbejdet i et supermarked

Læs mere

Ultrakompakte mobile robotter optimerer proceskæden

Læs mere

Lys forude – desinfektion ved hjælp af UV-lys og nanoScan3

Læs mere

Cobotterne Claus og Clara: Samarbejdende robotteknologi med SICK Safety

Læs mere

Har du andre spørgsmål?

Kontakt vore eksperter

Mobile Robotter:
Move into new dimensions

Robotteknologien er på vej – uanset om det er i produktionen, i logistikken eller på serviceområdet. Sensorløsninger til alle varianter af mobile robotter

Læs mere