Druckmessung für Flüssigkeiten und Gase
Die Messung der Zustandsgröße Druck spielt in vielen Bereichen des Anlagen- und Maschinenbaus, der Fertigungsindustrie, des Werkzeugmaschinenbaus, der Verfahrenstechnik und der Herstellung und Veredelung von Nahrungs- und Genussmitteln eine zentrale Rolle.
Je nach Messverfahren wird zwischen Absolut-Drucksensoren, Differenzdrucksensoren und Relativdrucksensoren unterschieden. Absolut-Drucksensoren verwenden ein Vakuum mit einem Druck von fast 0 Bar und Relativsensoren den atmosphärischen Luftdruck als Referenz. Differenzdrucksensoren ziehen zur Messung die Druckdifferenz zwischen zwei Messkammern heran. Je nach Messbereich kommt eine piezoresistive Siliziumzelle oder eine Metall-Dünnfilm-Messzelle zum Einsatz.
Die Metall-Dünnfilm-Messzellen werden für Messbereiche von 0 … 10 bar und höher eingesetzt. Sie bestehen aus einer Edelstahlmembran, auf welcher Dehnungsmessstreifen angebracht werden. Dehnungsmessstreifen sind Messelemente, welche schon bei geringen Verformungen ihren elektrischen Widerstand ändern. Die gemessene Widerstandsänderung wird dann in ein übliches Ausgangssignal wie 4 … 20 mA oder 0 … 10 V umgewandelt.
Die piezoresistive Messzelle wird für Sensoren mit Messbereichen von 0 … 0,4 bar bis 0 … 6 bar genutzt. Das Funktionsprinzip der beiden Methoden ist ähnlich, der Siliziumzelle misst allerdings nicht aufgrund der Widerstandsänderung. Der Siliziumchip ändert bei Verformung die Kristallstruktur und damit die Beweglichkeit der Elektronen. Der Chip sowie die Aufnahme (Header) sitzen in einer von Membran verschlossenen Kapsel. Diese Kapsel befindet sich in Öl, das den Druck von der Membran auf den Chip überträgt.